微振動(dòng)技術(shù)用空氣彈簧
微振動(dòng)技術(shù)用空氣彈簧
涉及微振技術(shù)主動(dòng)氣體減振設(shè)備。環(huán)境技術(shù)：
伴隨著制造技術(shù)性和少量準(zhǔn)確測(cè)量技術(shù)應(yīng)用的迅猛發(fā)展，微震動(dòng)控制系統(tǒng)已變成一個(gè)十分關(guān)鍵的課題研究?！峨娮庸I(yè)抗微振動(dòng)技術(shù)規(guī)范》(-2015))是2015年頒布實(shí)施的國(guó)家行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，要求高精度元器件和儀器設(shè)備的允許振動(dòng)值。針對(duì)一般的透射電鏡和電鏡，其容許震動(dòng)速率為6um/s，納技術(shù)產(chǎn)品研發(fā)設(shè)備的允許振動(dòng)速率甚至低于0.75um/s。要達(dá)到這樣的微振動(dòng)水平，這個(gè)總體目標(biāo)很難用被動(dòng)減振技術(shù)實(shí)現(xiàn)。空氣隔離設(shè)備將處理這個(gè)問(wèn)題。
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技術(shù)執(zhí)行因素：
本產(chǎn)品要解決的技術(shù)問(wèn)題是擺脫原有技術(shù)水平的缺點(diǎn)，給予微振動(dòng)技術(shù)主動(dòng)氣體減振模塊。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本產(chǎn)品提供以下技術(shù)規(guī)范：
本產(chǎn)品公布了一種微振動(dòng)技術(shù)的主動(dòng)氣體減振設(shè)備?，F(xiàn)澆板與底座中間配備垂直空氣彈簧；齒輪板與底座中間配備水平空氣彈簧；垂直彈簧與水平空氣彈簧連接到氣動(dòng)閥；垂直加速傳感器、水平加速傳感器、垂直位移計(jì)平加速傳感器、垂直位移計(jì)和水平位移計(jì)；主動(dòng)氣體減振模塊的路面地面配備垂直加速傳感器和水平加速傳感器。
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